99,7% aluminiumoxide waferpolijstplaat met gat
Productkenmerken
Aluminiumoxide met een hoge zuiverheid, 99,7%-99,9% aluminiumoxide.
Hoge mechanische sterkte, hoge slijtvastheid, hoge elektrische isolatie, hoge chemische stabiliteit, goede hittebestendigheid en corrosiebestendigheid. Momenteel is het gebruik van keramische slijpschijven voor het slijpen van halfgeleider-siliciumwafers de meest superieure en geavanceerde slijpmethode. Het dubbelzijdig slijpproces wordt gebruikt om de gesneden siliciumwafer te slijpen, en de kwaliteit van de geslepen wafer wordt verbeterd door het slijpproces te optimaliseren (schijfmateriaal, slijpvloeistof, slijpdruk en slijpsnelheid, enz.). Met name het gebruik van keramische platen in plaats van gietijzeren platen voorkomt slijpschade of vervuiling aan het hoofdoppervlak van de wafer, vermindert de introductie van metaalionen, kan de daaropvolgende verwerking van silicium verminderen, de corrosietijd verkorten, de productie-efficiëntie verbeteren en het verlies aan silicium tijdens de verwerking verminderen, waardoor het siliciumgebruik aanzienlijk wordt verbeterd.
Chemische/fysische parameters
| eigendom | |
| Dichtheid (g/cm³) | 3,94-3,97 |
| Zuiverheid (%) | 99.7-99.9 |
| Vickers-hardheid (GPa) | ≥17 |
| Driepuntsbuigsterkte (MPa) | 440-550 |
| Thermische diffusiecoëfficiënt (cm²/s) | 0,0968 |
| Elasticiteitsmodulus (GPa) | 356 |
Productspecificaties
Schijf of ring van hoogwaardig aluminiumoxide met een diameter van 850 mm en een dikte van maximaal 45 mm (afmetingen kunnen worden aangepast).
Wij kunnen ook de volgende specificaties van hoogwaardig keramiek produceren:
1, 1500x600x25mm onder de lange plank, strook, vierkante plank, plaat;
2. Geleiderails kleiner dan 1000x45x45mm;
3. φ300~600x lengte van een lege buis, cilinder, elektrische vacuümbuis, enz. met een diameter van 500 mm of minder.
4. Wij kunnen diverse vormen en specificaties van hoogwaardige, zuivere aluminiumoxide keramische producten op maat maken.
Voordelen van Chemshun-keramiek
Wij bezitten de onafhankelijke intellectuele eigendomsrechten van het PIBM-zelfhardende vormproces en zijn gespecialiseerd in de productie van hoogwaardige, fijnkeramische componenten. Het nieuwe proces doorbreekt de vervorming en scheurvorming van grote, natte keramische blokken tijdens de voorbereiding, en de productprestaties zijn aanzienlijk geoptimaliseerd in vergelijking met die van grote keramische onderdelen die met traditionele methoden worden vervaardigd.
De door Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. geproduceerde keramische polijstschijven van aluminiumoxide maken gebruik van het PIBM-zelfhardende vormproces. De internationaal geavanceerde PIBM-technologie heeft het cruciale probleem van scheurvorming in aluminiumoxide met een grote diameter succesvol opgelost. De PIBM-keramiektechnologie opent nieuwe perspectieven voor de keramische industrie. Wij produceren niet alleen hoogwaardige keramische polijstschijven van aluminiumoxide, maar ook andere series grote, zeer zuivere keramische aluminiumoxideproducten, zoals keramische substraten van 1200*500*20 mm voor LCD-productieapparatuur, halfgeleidertransmissierails, vacuümcomponenten, algemene mechanische onderdelen en kogelwerend keramiek.
