De zuiverheid vanaluminiumoxide keramische polijstschijfheeft een aanzienlijke invloed op het proces, met name op de volgende gebieden:
1. Polijsteffect:
- Schijven van hoogzuiver aluminiumoxide, gepolijst tot een gelijkmatiger oppervlak, zorgen voor minder oppervlaktedefecten en onzuiverheden.
Het gebruik van polijstschijven van zeer zuiver aluminiumoxide voor het polijsten van halfgeleiderwafers kan de oppervlaktebeschadigingen of verontreinigingen van de wafer verminderen, de introductie van metaalionen beperken, de benutting van siliciumwafers verbeteren en de polijstkwaliteit verhogen.
2. Productkwaliteit:
- De hoge zuiverheid van gepolijste aluminiumoxide keramische schijven betekent dat ze een laag gehalte aan onzuiverheden bevatten, waardoor de verontreiniging van het waferoppervlak door onzuiverheden tijdens het polijstproces wordt verminderd.
- Hoogwaardige polijstschijven helpen de zuiverheid van het product te behouden, waardoor stabiele prestaties van halfgeleidercomponenten worden gegarandeerd en aan strenge proceseisen wordt voldaan.
3. Processtabiliteit:
- De thermische uitzettingscoëfficiënt van polijstschijven van zeer zuiver aluminiumoxide is vergelijkbaar met die van silicium, wat helpt om de thermische spanning als gevolg van temperatuurschommelingen te verminderen en de processtabiliteit te verbeteren.
Een stabiel proces helpt het aantal defecten in het productieproces te verminderen en de productie-efficiëntie te verbeteren.
4. Chemische stabiliteit:
- Aluminiumoxide van hoge zuiverheid heeft een uitstekende chemische stabiliteit en is in staat zijn eigenschappen en structuur te behouden in een breed scala aan chemische omgevingen.
Hierdoor zijn polijstschijven van zeer zuiver aluminiumoxide minder gevoelig voor corrosie of slijtage tijdens het polijstproces en hebben ze een langere levensduur.
5. Economische voordelen:
Hoewel de aanschafkosten van een polijstschijf van zeer zuiver aluminiumoxide hoog kunnen zijn, verlagen de uitstekende eigenschappen en de lange levensduur de totale productiekosten.
Bovendien kunnen polijstschijven met een hoge zuiverheid de productkwaliteit en processtabiliteit verbeteren, het percentage defecte producten verlagen en de economische voordelen verder vergroten.
6. Impact van technische indicatoren:
Volgens het genoemde artikel hebben polijstschijven van zeer zuiver aluminiumoxide (99,7%-99,9%) uitstekende fysische en chemische eigenschappen, zoals een hoge mechanische sterkte, hoge slijtvastheid, hoge elektrische isolatie, hoge chemische stabiliteit en goede hitte- en corrosiebestendigheid.
Deze technische indicatoren hebben een directe invloed op het resultaat van het polijstproces en de productkwaliteit.
De zuiverheid van de polijstschijf van alumina-keramiek heeft een belangrijke invloed op het proces. Een zeer zuivere polijstschijf kan het polijsteffect, de productkwaliteit en de processtabiliteit verbeteren, terwijl de totale productiekosten worden verlaagd. Daarom is de keuze voor zeer zuivere alumina-polijstschijven in het halfgeleiderproductieproces belangrijk om de productkwaliteit te waarborgen en de productie-efficiëntie te verbeteren.
Geplaatst op: 14 juli 2024